Pierwszy na świecie czujnik przyspieszenia kątowego MEMS do montażu powierzchniowego

Firma Murata ogłosiła zakończenie z powodzeniem projektu pierwszego na świecie czujnika przyspieszenia kątowego MEMS montowanego powierzchniowo (SMD).

W ostatnich latach wzrosło zapotrzebowanie na czujniki przyspieszenia kątowego o kompaktowych wymiarach, które jednocześnie utrzymują wysoką czułość, niski poziom szumów i szerokie pasmo pracy. Chcąc skutecznie odpowiedzieć na te potrzeby, firma Murata opracowując nowy produkt zastosowała i swoją technologię projektowania czujników inercyjnych, takich jak czujniki przyspieszenie i żyroskopy, i technologię MEMS (mikrosystemów elektromechanicznych). W ten sposób powstał pierwszy na świecie montowany powierzchniowo czujnik prędkości kątowej typu MEMS.

Układ jest prawdopodobnie również najmniejszym montowanym powierzchniowo miernikiem przyspieszenia. Wymiary akcelerometru to 5,2 x ,2,5 x 0,8 mm. Układ pracuje z sygnałami o częstotliwości do ponad 1 kHz, a wartość skuteczna poziomu szumów wynosi poniżej 1 rad/s?.

Czujnik przyspieszenia kątowego Murata może służyć do pomiaru przyspieszenia kątowego lub wykrywania drgań obrotowych.

Układ jest objęty ochroną patentową w Japonii i innych krajach. Obejmuje ona ponad 10 patentów czekających na zatwierdzenie.