Bezdotykowy sensor termiczny MEMS firmy OMRON

Firma OMRON zakończyła pracę nad pierwszym na świecie czujnikiem podczerwieni wykonanym w technologii wafer-level vacuum packaging technology. Nowy bezdotykowy sensor termiczny MEMS, który przeznaczony jest do wykrywania obecności osób, cechować się będzie zakresem działania 90^o, a jego obszar pomiarowy będzie podzielony na 256 komórek (16 x 16).

W ostatnich latach, popyt na czujniki obecności człowieka rośnie w parze z popytem na energooszczędne i inteligentne budynki. Ponieważ konwencjonalne czujniki obecności (czujniki ruchu) są w stanie wykryć ludzi, tylko gdy się poruszają i to w określonej przestrzeni, nie są one zbyt uniwersalne.

Pomiar w bezdotykowym czujniku termicznym MEMS odbywa się poprzez odbiór energii podczerwieni i przetworzenie jej na ciepło. Następnie mierzona jest powstała siła elektromotoryczna wynikająca z różnicy temperatur, które występują na styku powierzchni dwóch metali. Dotychczas ciężko było utworzyć znaczne różnice temperatury pomiędzy żebrami, ponieważ ciepło natychmiast było odprowadzane na zewnątrz, zmniejszając SEM, a zarazem czułość urządzenia. OMRON poradził sobie z tym problemem, poprzez uszczelnienie żeber na chipie.

Rozwój czujnika był wynikiem badań przeprowadzonych we współpracy z japońskim New Energy and Industrial Technology Development Organization.

Obecnie w ofercie firmy OMRON znajdują się czujniki obecności z serii D6T. Model D6T-44L-06 cechuje się zakresem działania wynoszącym 44,2^o w osi X i 45,7^o w osi Y. Obszar pomiarowy podzielony jest na 16 komórek (4 x 4). Model D6T-8L-06 cechuje się zakresem działania wynoszącym 62,8^o w osi X i 6^o w osi Y. Obszar pomiarowy to 4 komórki (1 x 4). Czujniki można nabyć w sklepie internetowym Farnell element14.

Dostawa pierwszych testowych próbek nowych czujników będzie miała miejsce w październiku tego roku.