Światowa Rada Półprzewodników (WSC) ogłosiła w zeszłym miesiącu, że z powodzeniem zakończyła stopniowe wycofywanie celowych zastosowań kwasu perfluorooktanowego (PFOA), jego soli i związków pokrewnych PFOA w procesach fotolitografii lub wytrawiania. W związku z tym WSC poinformowało Komitet Przeglądowy ds. Trwałych Zanieczyszczeń Organicznych (POP-RC) Konwencji Sztokholmskiej ONZ, że od 2023 r. branża półprzewodników nie potrzebuje już zwolnień z ograniczeń. „Celowe zastosowanie” oznacza, że substancja jest używana celowo do określonej funkcji lub w celu osiągnięcia określonej cechy.

Semiconductor Industry Announces

Eliminacja ta jest głównym osiągnięciem w zakresie zarządzania środowiskowego dla światowego przemysłu półprzewodników. WSC pracuje nad zarządzaniem i zastępowaniem tych zastosowań PFOA od ponad dekady, zobowiązując się w 2018 r. do stopniowego wycofywania celowych zastosowań PFOA. Producenci chipów współpracowali ze swoimi dostawcami przez wiele lat i zainwestowali znaczne zasoby i wiedzę techniczną w celu zidentyfikowania, zakwalifikowania i zintegrowania alternatywnych chemikaliów spełniających wysokie wymagania.

W odniesieniu do przyszłej polityki i działań branżowych, globalne stowarzyszenia producentów półprzewodników napisały do POP-RC ONZ:

Jak już wcześniej informowaliśmy, przemysł półprzewodników opiera się na chemikaliach (takich jak krótkołańcuchowe PFAS), które posiadają określone właściwości chemiczne i fizyczne oraz cechy funkcjonalne wymagane do produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Obecnie, dla wielu z tych chemikaliów stosowanych w naszych procesach produkcyjnych nie są znane środki alternatywne. Z tego powodu zastąpienie tych chemikaliów może okazać się trudniejsze nawet od wyzwań związanych z PFOS i PFOA. Branża ma udokumentowane osiągnięcia w zakresie odpowiedzialnego stosowania chemikaliów i zarządzania nimi, w tym minimalizowania emisji, identyfikowania i wdrażania substytutów oraz ograniczania stosowania tych chemikaliów tam, gdzie jest to możliwe. Będziemy kontynuować te działania w przyszłości.

Pomimo wycofania celowo dodanego PFOA w produkcji półprzewodników, dodatkowe badania będą ważne dla zmniejszenia obecności PFOA w środowisku. Dwie niedawne publikacje wskazują, że PFOA został wykryty w niektórych strumieniach ścieków produkcyjnych.

Chociaż zakończenie tego etapu stanowi ważny krok, nadal pozostaje wiele pracy, aby sprostać wyzwaniom związanym ze stosowaniem substancji chemicznych budzących obawy w produkcji półprzewodników, w tym innych rodzajów PFAS.

Kilka lat temu SIA utworzyła Semiconductor PFAS Consortium, grupę firm związanych z branżą produkcji półprzewodników i dostawców zaangażowanych w rozwiązywanie kwestii technicznych związanych z wykorzystaniem PFAS w procesie produkcyjnym. Z opublikowanych dokumentów wynika, że potrzebne są dodatkowe prace prowadzone w celu ulepszenia technologii wykrywania, metod przetwarzania i niszczenia oraz optymalizacji procesów i systemów redukcji. Badania Semiconductor PFAS Consortium wskazują, że zastąpienie innych PFAS środkami alternatywnymi będzie również skomplikowane i czasochłonne. Może zająć od 5 do 25 lub więcej lat, bez gwarancji sukcesu we wszystkich lub jakichkolwiek zastosowaniach.

W 2017 r. WSC ogłosiło również wycofanie ze stosowania kwasu perfluorooktanosulfonowego (PFOS), innego długołańcuchowego PFAS o niepokojących właściwościach. Dodatkowe informacje na temat wycofywania PFOA i PFOS są dostępne w białej księdze Semiconductor PFAS Consortium: „PFOS and PFOA Conversion to Short-Chain PFAS-Containing Materials Used in Semiconductor Manufacturing.”

Źródło: Semiconductor Industry Assotiation