Kilka uwag o sprzęcie do fotolitografii – Grzegorz Kamiński przedstawia dane z 2024 roku
W ostatnim tekście napisałem kilka słów o fotolitografii, która zgodnie z tytułem, nie zawsze jest “foto”. W tamtym tekście głównymi dostawcami sprzętu technologicznego do naświetlania były 3 firmy – alfabetycznie ASML, Canon i Nikon. Jakież było moje zdziwienie gdy zobaczyłem artykuł firmy analitycznej Yole, a w nim dane jak na rysunku [1] poniżej.

Rys. 1: Udział w rynku dostawców sprzętu technologicznego do procesów fotolitografii, wg. Yole Group, dane dla roku 2024
Dlaczego TEL, firma znana także jako Tokyo Electron Ltd., ma aż 10% udziału? Może popełniłem jakiś błąd, a może czegoś nie wiem – co oczywiście jest pewne. “Nikt nie jest doskonały” – cytat z pewnego słynnego filmu. Sprawdziłem informacje u źródła, czyli na stronach internetowych firmy TEL i wszystko się wyjaśniło. Tytuł w tekście firmy Yole mówił, że to “patterning equipment” czyli uwzględniał także urządzenie do pozostałych procesów związanych z procesem naświetlania fotorezystu, czyli nakładanie tzw. primera oraz fotorezystu (urządzenia do wywołania fotorezystu). Ta właśnie grupa urządzeń (coating/developing) to domena firmy TEL. Prawdopodobnie także w grupie innych (others) dominują dostawcy tego typu sprzętu, bo jest to sprzęt mniej skomplikowany niż sprzęt technologiczny do naświetlania. Potwierdzenie informacji na temat firmy TEL przedstawia rysunek z ich prezentacji pokazujący, że mają 100% udziału w sprzęcie coater/developer dla fotolitografii EUV.

Rys.2: Udział w urządzeniach do nakładania i wywoływania fotorezystu firmy TEL w fotolitografii EUV, wg. danych firmy TEL
Bez tego typu urządzeń udział w rynku jest pokazany na rysunku [2].

Rys.3: Udział w rynku dostawców sprzętu technologicznego do procesów naświetlania, na podstawie danych firmy Yole Group i TEL, dane dla roku 2024
Jak widać z tego wykresu dominacja firmy ASML jest ogromna, mają około 92% udziału w rynku.
Ciekawe jaki sprzęt dominuje w sprzedaży ASML, według obrotów? Pewnie większość z was oczekuje, że będzie to sprzęt do fotolitografii EUV, ale tak nie jest. Mimo, że ceny sprzętu do EUV są kilka razy wyższe niż sprzętu do DUV, to w sprzedaży ASML dominuje ten drugi. Rysunek [3] to przedstawia. Ponad 62% ma udział urządzeń do DUV, sumując wszystkie ich rodzaje. To udział wartościowy, a więc ilościowy jest o wiele większy.
Kolejny rysunek został pobrany bezpośrednio ze strony How They Make Money:
Dlaczego napisałem ten tekst? Zawsze trzeba weryfikować dane i sprawdzać czy są spójne.