CEZAMAT wzmacnia badania i rozwój w dziedzinie zaawansowanej fotoniki dzięki systemowi do nanoimprintingu UV firmy EV Group

Infrastruktura centrum badawczego CEZAMAT, zajmującego się zaawansowanymi materiałami i technologiami, została wzbogacona o nowy system litografii nanoimprintowej UV (UV-NIL) EVG®6200 NT SmartNIL®.  Dostawcą jest EV Group (EVG).

EVG®6200 NT – nanoszenie wzorów metodą UV Nanoimprint, wykorzystujący opatentowaną przez firmę EVG technologię SmartNIL® w warunkach cleanroom | źródło: CEZAMAT PW

Technologia wyrównywania masek

System EVG6200 NT zapewnia najnowocześniejszą technologię centrowania masek w połączeniu z możliwościami UV-NIL (Ultraviolet Nanoimprint Lithography). Opatentowana przez EVG technologia SmartNIL wykorzystuje wielokrotne przetwarzanie softstamp, zapewniając wydajność i skalowalność, jednocześnie umożliwiając tworzenie wzorów o wysokiej rozdzielczości i złożonej topografii.

– Procedura centrowania masek (mask alignment) oznacza zgrywanie obrazów już istniejących na płytce, z kolejnym poziomem aktualnie realizowanym za pomocą procesu litografii (fotolitografii). Dopiero zapewnienie właściwej względem siebie lokalizacji wzorów wykonywanych w kolejnych warstwach zapewnia ostatecznie poprawne działanie elementów półprzewodnikowych – wyjaśnił prof. dr. hab. inż. Romuald Beck z Cezamat PW.

W laboratoriach CEZAMAT system EVG6200 NT będzie wykorzystywany do replikacji i skalowania szerokiej gamy opracowanych mikro- i nanostruktur. Obejmują one dyfrakcyjne elementy optyczne oraz różne mikroelementy optyczne – takie jak soczewki, falowody i siatki – przeznaczone do stosowania w:

• fotonicznych układach scalonych,
• detektorach,
• optyce wolnej przestrzeni.

Centrum Kompetencji Mikroelektroniki i Fotoniki

– Wierzymy, że ta inwestycja w ramach projektu Centrum Kompetencji w zakresie Mikroelektroniki i Fotoniki, finansowanego z Krajowego Planu Odbudowy i Odporności (KPO), zwiększy nasze możliwości, wzmocni współpracę i umocni pozycję CEZAMAT jako wiodącej placówki badawczo-rozwojowej w dziedzinie nanotechnologii. Mamy wysokie oczekiwania i jesteśmy pełni entuzjazmu, rozpoczynając ten znaczący proces rozbudowy naszych możliwości sprzętowych – stwierdził Piotr Wiśniewski, adiunkt i kierownik Katedry Inteligentnych Systemów Półprzewodnikowych (SEMINSYS) w CEZAMAT.

– Jesteśmy dumni, że możemy wspierać CEZAMAT w rozbudowie jego możliwości i kontynuacji ponad dziesięcioletniej udanej współpracy. Europa pozostaje kluczowym ośrodkiem innowacji w dziedzinie półprzewodników i fotoniki, a instytucje takie jak CEZAMAT odgrywają istotną rolę w rozwoju produkcji urządzeń nowej generacji w całym regionie – dodał dr Thomas Glinsner, dyrektor ds. technologii korporacyjnych w EV Group.

Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT to multidyscyplinarne centrum badawczo-rozwojowe w Europie, utworzone w celu skutecznego łączenia zaawansowanych badań naukowych z wdrażaniem przemysłowym i komercjalizacją. Jako flagowe centrum badawcze Politechniki Warszawskiej, CEZAMAT działa na styku przemysłu, środowiska akademickiego i władz państwowych, pełniąc rolę katalizatora przełomowych zmian, które przynoszą korzyści społeczeństwu i wzmacniają suwerenność technologiczną kraju w strategicznych dziedzinach podwójnego zastosowania. Prowadzi zaawansowane badania, tworzye prototypy, waliduje technologię oraz produkuje w małych i średnich seriach. Wiedza specjalistyczna obejmuje półprzewodniki, fotonikę, technologie mikroelektroniczne, a także biotechnologię i bioinżynierię.

EV Group (EVG) dostarcza rozwiązania procesowe oraz wiedzę specjalistyczną w projektach półprzewodników oraz schematach integracji chipów. Umożliwia klientom skuteczne wprowadzanie na rynek nowych pomysłów produktowych. Produkty EVG obejmują sprzęt do łączenia płytek, litografii, obróbki cienkich płytek i metrologii. Umożliwiają postępy w skalowaniu front-end półprzewodników, integracji 3D i zaawansowanym pakowaniu, a także w innych zastosowaniach elektronicznych i fotonicznych.