Canon prezentuje maszynę do produkcji miniaturowych układów scalonych w procesie 5 nm

Canon wprowadził na rynek maszynę FPA-1200NZ2C służącą do produkcji miniaturowych układów cyfrowych w technologii litografii nano-imprint (NIL). Tym samym japońska firma ma zamiar rzucić wyzwanie ASML, zdecydowanemu liderowi w branży maszyn do produkcji najmniejszych układów półprzewodnikowych.

W tradycyjnym procesie fotolitografii maski są nakładane na odpowiednią warstwę za pomocą światła. Jednak technologia NIL, stosowana w maszynie Canona, działa nieco inaczej. Maski nie są projekcją światła, ale są drukowane bezpośrednio na warstwie, co pozwala na dokładniejsze odwzorowanie wzorów maski na waflu. Ponadto, proces NIL jest bardziej opłacalny.

Canon twierdzi, że nowe urządzenie jest w stanie obsłużyć proces technologiczny 5 nm. Co więcej, wciąż trwają prace nad rozwojem tej technologii, która ma osiągnąć nawet wymiar charakterystyczny 2 nm. Jeśli to się uda, to maszyny Canon będą poważnym konkurentem ASML na rynku.

Więcej informacji na stronie producenta: https://global.canon/en/news/2023/20231013.html