STMicroelectronics kieruje europejskimi badaniami nad nową generacją optycznych układów MEMS (MOEMS)

Firma STMicroelectronics sprawuje kierownictwo nad Lab4MEMS II. Jest on kontynuacją udanego projektu badawczego Lab4MEMS rozpoczętego w kwietniu 2013 roku.

Projekt Lab4MEMS II skupia się wokół mikrosystemów opto-elektro-mechanicznych (MOEMS), które łączą układy MEMS z mikrooptyką, aby odczytywać lub manipulować sygnałami optycznymi za pomocą zintegrowanych systemów mechanicznych, optycznych i elektrycznych. Oryginalny projekt kontynuuje rozwój zaawansowanych technologii dla układów MEMS nowej generacji, takich jak materiały piezoelektryczne i magnetyczne oraz struktury 3D. Podobnie jak pokrewny projekt, Lab4MEMS II został uruchomiony przez europejski organ odpowiedzialny za nanoelektronikę ENIAC JU w systemie partnerstwa publiczno-prywatnego.

Wartość projektu Lab4MEMS II to 26 milionów Euro. Bierze w nim udział 20 partnerów przemysłowych, uczelni i ośrodków badawczych z 9 europejskich krajów, w tym warszawski ITE. Inicjatywa bazuje na sukcesie pierwszego projektu Lab4MEMS, a jej koordynatorem jest STMicroelectronics. Firma oferuje wsparcie w produkcji, zasoby techniczne i organizacyjne, aby zapewnić powodzenie pionierskiego europejskiego projektu zaawansowanych układów MOEMS.

Projekt Lab4MEMS II jest skupiony wokół projektowania, wytwarzania i testów różnorodnych układów złożonych z laserów, przełączników optycznych, macierzy mikroluster, zwrotnic optycznych i mikrosoczewek, jak również standardowych rozwiązań mikromechanicznych. Celem jest miniaturyzacja i budowa zaawansowanych systemów optycznych. MOEMS stanowi platformę rozwoju przyszłych produktów komercyjnych, takich jak optyczne routery, układy z mikrolustrami i dynamiczne wyświetlacze, układy bistabilne i przesłony optyczne przydatne w mikroprojektorach, laserowe mikroskanery, interfejsy HMI nowej generacji i mikro-spektrometry. Jednym z celów projektu jest optymalizacja produkcji podwójnych, jednoosiowych luster, jak również badania możliwości realizacji pojedynczego, dwuosiowego lustra.

Projekt Lab4MEMS II został określony jako kluczowa technologia (KET) projektu zakontraktowanego przez ENIAC JU w celu opracowania technologii i obszarów zastosowań o istotnym wpływie na społeczeństwo.

Program pilotażowy Lab4MEMS II obejmuje rozbudowę linii produkcyjnej wafli krzemowych 200 mm należącej do STMicroelectronics w miejscowości Agrate Brianza w celu zwiększenia liczby wytwarzanych układów. Jednocześnie zostaną dodane technologie optyczne. Pozwoli to opracować strategię wdrażania nowych rozwiązań technologicznych poprzez rozwój naukowy i możliwości projektowania oraz produkcji różnego typu zaawansowanych układów krzemowych w skali mikro i nano. W ramach projektu zostaną również ocenione perspektywy przejścia na wafle krzemowe o średnicy 300 mm.

ENIAC JU to organizacja publiczno-prywatna zrzeszająca kraje członkowskie ENIAC, Unię Europejską i stowarzyszenie europejskich inicjatyw nanoelektronicznych (AENEAS). Stowarzyszenie obecnie przeznacza 1,8 miliarda euro na liczne projekty badawcze, które zostały wybrane w konkursach w odpowiedzi na inicjatywę „Calls for Proposals”. Projekt Lab4MEMS II koordynowany przez firmę STMicroelectronics otrzymał fundusze jesienią 2012 roku, a prace rozpoczęły się w listopadzie 2014 roku.

Poza firmą STMicroelectronics, partnerami projektu Lab4MEMS II są: Instytut Technologii Elektronowej, ARKEMA, Politecnico di Torino and di Milano, Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica, CNR-IMM MDM, Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives, Uniwersystet Maltański, Okmetic Oyj, MURATA Electronics, VTT Memsfab, Teknologian Tutkimuskeskus VTT, Uniwersytet Aalto, KLA-Tencor ICOS, Politechnika w Bukareszcie – CSSNT, Stiftelsen SINTEF, Polewall AS oraz Besi Austria.